安徽华中半导体材料有限公司
20-99人
公司优势
本项目以江苏中能SiHCl3歧化法生产的太阳能级SiH4为基础，与浙江大学硅材料国家重点实验室、江苏华中气体有限公司合作，开发深度纯化技术，用于生产高纯SiH4电子特气产品。高纯SiH4电子特气的纯化方法主要包括吸附/层析法、冷冻法、络合法、精馏法及其组合方法，其中精馏法与吸附法的组合提纯方式被UCC、EMEC和法国液化空气等特气公司广泛应用。本项目在纯化技术方面进行了大量研发，在现有SiH4精馏工艺中增加活性炭/分子筛吸附环节，并通过优化吸附剂、吸附塔位置设置、精馏工艺等，降低其中氯硅烷、P、B、As、金属杂质等杂质含量。同时，设计开发出新型气体充装装置，通过先冷凝除杂，再汽化罐装的方式，达到进一步除杂效果，使产品质量达到国际领先水平。并顺利入选国家O2专利中高端特种电子气体研发与产业化中硅族气体项目。
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