安徽华中半导体材料有限公司

安徽华中半导体材料有限公司成立于2018年，占地47亩，总投资3亿元，位于安徽省全椒县十谭产业园，是江苏华中气体有限公司全资子公司。公司主要致力于硅族气体、超高纯气体、半导体气体供应设备及纯化设备的研发与生产。与浙江大学等多所科研院校建立合作关系，开发高端电子深度纯化技术，致力于打造行业品质，打破国外垄断，填补国内量产空白。同时为促进循环经济发展、推动双碳目标实现贡献力量。
本项目以江苏中能SiHCl3歧化法生产的太阳能级SiH4为基础，与浙江大学硅材料国家重点实验室、江苏华中气体有限公司合作，开发深度纯化技术，用于生产高纯SiH4电子特气产品。高纯SiH4电子特气的纯化方法主要包括吸附/层析法、冷冻法、络合法、精馏法及其组合方法，其中精馏法与吸附法的组合提纯方式被UCC、EMEC和法国液化空气等特气公司广泛应用。本项目在纯化技术方面进行了大量研发，在现有SiH4精馏工艺中增加活性炭/分子筛吸附环节，并通过优化吸附剂、吸附塔位置设置、精馏工艺等，降低其中氯硅烷、P、B、As、金属杂质等杂质含量。同时，设计开发出新型气体充装装置，通过先冷凝除杂，再汽化罐装的方式，达到进一步除杂效果，使产品质量达到国际领先水平。并顺利入选国家O2专利中高端特种电子气体研发与产业化中硅族气体项目。