嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心

中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心成立于2009年4月，是中科院微电子研究所与嘉兴市政府联合建立的创新平台，旨在推动技术创新、研发、中试与高新技术产业孵化。该中心设于浙江中科院应用技术研究院9号楼南区，总面积约3000平方米，其中专业实验研发区域达1280平方米。现有研发团队26人，包括3位正高级专家、1位副高级专家以及4位博士。

依托中科院强大的研发实力、人才优势和技术综合能力，工程中心以嘉兴为基地，辐射长三角地区，专注于应用科学研究，致力于技术研究、推广、项目合作与人才培养。其主要工作包括微电子成套设备技术的研发与应用，建设重点实验室、工程中心与孵化基地，促进微电子成套设备技术在地方经济中的广泛应用。该中心已经成功研发并实施了包括原子层沉积在内的高端半导体装备项目。

近年来，中心承担了一系列国家级与省级科研、产业化项目，如《45nm以下颗粒检测与化学沾污检测集成系统的研发》和《用于光刻胶抗刻蚀能力强化的连续渗入合成（SIS）设备及技术开发》等。这些项目均取得了显著成果，其中自主研发的ALD设备成功通过了大型微电子、MEMS制造企业的生产线验证，成为国内首批进入大规模产业化市场的原子层沉积机型，有效打破了国外设备的垄断。此外，该中心还利用其强大的人才资源和仪器设备研发能力，为浙江乃至全国的高校提供实习基地和人才培训服务，帮助解决高校在理论与实践结合方面的需求，赢得了学校和社会的高度评价。通过这一系列努力，工程中心最大化地发挥了其优势，为社会培养出更多具备工匠精神的专业人才。