设备设计工程师

1、主导半导体特气/化学品输送系统（如Gas Cabinet、VMB/VMP、Liquid Delivery System）及辅助设备（阀门、管道

、传感器等）的机械结构、流体系统设计。

2、使用CAD工具（SolidWorks、AutoCAD）完成3D建模、工程图纸输出，并确保符合SEMI、ASME、CE等国际标准。

3、针对高纯度、高腐蚀性介质（如HF、Cl60、SiH62）进行材料兼容性分析，选择耐腐蚀材料（如EP级不锈钢、哈氏合

金）和对应的阀门等设计。

二、工艺安全与合规

1、设计需满足SEMI S2/S8、NFPA、OSHA等安全规范，集成泄漏检测、紧急切断（ESD）、尾气处理（Scrubber）等安全

功能。

2、参与HAZOP（危险与可操作性分析）及FMEA（失效模式分析），优化设备可靠性。

三、跨部门协作

1、与工艺工程师、厂务团队合作，确保设备与Fab厂洁净室（Class 1-100）兼容，规避振动、微粒污染风险。

2、支持采购部门、项目部门评估供应商（如APTECH、WIKA）零部件技术规格，主导关键部件（如调压阀、隔膜阀、质量

流量计）的选型验证。

四、测试与验证

1、制定设备FAT（工厂验收测试）、SAT（现场验收测试）方案，确保氦检漏率<1×106361 Pa·m06/s等级。

2、分析设备在极端条件（高温、高压、高真空）下的性能数据，优化设计参数。

五、技术文档与标准

1、编制BOM（物料清单）、设计规格书、维护手册，确保文档符合ISO 9001/14001体系要求。

2、研究并应用新兴技术（如数据模型、数据分析、气体使用量分析）提升设备智能化水平以及标准化水平。

六、完成上级交办的其他工作

1、本科及以上学历，过程装备与控制工程（化工机械）、化工、化工工艺、机械、机电一体化、工业工程等专业；

2、熟悉相关作业技术规范和国标标准；

3、良好的学习合作能力和交流沟通能力；

4、熟练使用办公软件CAD、office、工艺管道三维设计图，会：PowerBI、Python、SQL、三维绘制(BIM)、有数据整合经验

者优先考虑；

5、从事电子厂房/洁净室相关特气、化学设备设计5年以上、有主系统、二次配或工艺机台装机相关工作经验者优先；

6、能够独立处理对应的设备P&ID、设备料单、工程料单以及对应的成本报价和技术文件，并且有自己独特的安全性成本降

低方案；

7、会人体工程学、流体力学、力学性能分析基本能力，优越者经验者优先考虑；

8、能适应长期驻场工作，具良好沟通协调能力和抗压能力

9、过程装备与控制工程（化工机械）、化工、化工

工艺、机械、机电一体化、工业工程相关专业