MEMS工艺与材料工程师

1、主导微尺度电镀悬臂梁的力学性能研究，重点解决退火工艺导致的卷曲问题。

2、分析电镀残余应力、热应力（退火过程）及材料各向异性对悬臂梁形变的影响机制。

退火工艺开发与验证

1、设计退火工艺（温度、时间、气氛）实验，量化不同条件对悬臂梁应力释放的效果。

2、结合仿真预测退火后的形变趋势，优化工艺参数以抑制卷曲。

失效分析与表征

1、使用SEM、XRD、AFM、纳米压痕仪等设备，表征悬臂梁的微观结构、应力分布及界面结合强度。

2、建立应力-形变模型，关联工艺参数与最终性能指标（如卷曲半径、屈服强度）。

跨部门协作

1、与设计团队协同优化悬臂梁几何结构（如长度、厚度、锚点设计），提升机械稳定性。

2、推动工艺从实验室到量产的转移，编写工艺规范文档（SOP）及失效分析报告。

任职资格要求

教育背景

1、硕士或博士学历，专业方向：材料科学与工程（金属材料方向）、机械工程（微纳制造）、微电子学（MEMS方向）或相关专业。

工作经验

1、5年以上MEMS或半导体行业经验，具备微尺度电镀、退火工艺开发或材料力学分析背景。

2、有射频MEMS器件（如开关、谐振器）开发经验者优先，尤其熟悉悬臂梁、薄膜等弹性结构。

核心技能

材料力学与工艺：

1、掌握金属材料（金，镍，铬，钛钨等）理化性能，解决热膨胀系数失配、界面应力等问题。

2、熟悉退火工艺对金属微结构（晶粒尺寸、位错密度）及应力的作用机制。

仿真与建模：

1、熟练使用COMSOL、ANSYS或Abaqus进行热-力耦合仿真，预测悬臂梁形变。

2、具备有限元分析（FEA）能力，可建立参数化模型指导工艺优化。

表征与分析：

1、练操作SEM、EDS、XRD、AFM等设备，具备数据解读能力（如应力计算、晶格常数分析）。

2、熟练使用JMP、Origin或MATLAB进行统计分析及可视化。

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