北京理工大学重庆微电子研究院
公司优势
北京理工大学重庆微电子研究院以国家对集成电路与微纳技术的重大需求为导向，借助北京理工大学在微纳制造、MEMS、3D集成、集成电路设计、微纳系统集成、量子材料、太赫兹技术等领域的深厚研究积累，在重庆市西永微电子产业园构建了先进的MEMS/NEMS微纳制造工艺平台，并围绕该平台展开以下研究工作：
1. 新工艺与新材料：探索MEMS/NEMS新工艺，研发硅基半导体与量子材料，推进二维量子结构生长、CMOS-MEMS集成、三维异质异构集成等前沿工艺。
2. 新型MEMS/NEMS传感器：开发声光热惯性传感器，包括pMUT、陀螺仪、非制冷红外FPA及基于二维材料的长波红外光电探测器。
3. 新型MEMS执行器：利用静电、电热、压电、电磁等驱动机制，研发MEMS光开关、OXC、数字微镜阵列、内窥专用MEMS微镜、激光雷达专用MEMS微镜、微型扬声器、微型机器人以及可调谐超表面结构。
4. MEMS器件的专用数模混合集成电路设计。
5. 硅基高速片上集成电路设计：聚焦于导航S波段芯片、K频段及毫米波核心芯片、专用SOC芯片的技术攻关。
6. 太赫兹关键技术：专注于太赫兹集成成像芯片和MEMS调谐太赫兹器件的研发。
7. 轻量化微型化声光电测量系统：打造微型激光雷达、微型红外光谱仪、内窥成像系统等创新设备。
1. 新工艺与新材料：探索MEMS/NEMS新工艺，研发硅基半导体与量子材料，推进二维量子结构生长、CMOS-MEMS集成、三维异质异构集成等前沿工艺。
2. 新型MEMS/NEMS传感器：开发声光热惯性传感器，包括pMUT、陀螺仪、非制冷红外FPA及基于二维材料的长波红外光电探测器。
3. 新型MEMS执行器：利用静电、电热、压电、电磁等驱动机制，研发MEMS光开关、OXC、数字微镜阵列、内窥专用MEMS微镜、激光雷达专用MEMS微镜、微型扬声器、微型机器人以及可调谐超表面结构。
4. MEMS器件的专用数模混合集成电路设计。
5. 硅基高速片上集成电路设计：聚焦于导航S波段芯片、K频段及毫米波核心芯片、专用SOC芯片的技术攻关。
6. 太赫兹关键技术：专注于太赫兹集成成像芯片和MEMS调谐太赫兹器件的研发。
7. 轻量化微型化声光电测量系统：打造微型激光雷达、微型红外光谱仪、内窥成像系统等创新设备。
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