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沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年,是由中国科学院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,是北方华创集团下属控股子公司,科创板上市企业(股票代码:688037),专业从事半导体专用设备的研发、生产、销售和服务。公司深耕半导体专用设备研发制造领域24年,面向前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体三大领域,形成了涂胶、显影、喷胶、去胶、清洗、湿法刻蚀、键合及解键合等八大系列产品,拥有海内外客户500余家。公司多次获评“中国半导体设备行业十强企业”称号,在沈阳、上海两地设有量产工厂,并在北京、武汉、广州和日本等地设有分、子公司。芯源研发实力雄厚,研发投入及产出处于行业较高水平;未来,沈阳芯源公司将不断加大创新力度,以更优质的产品助力“中国芯”跨越式发展!

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