中微半导体

中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司）是中国一家面向全球的高端半导体微观加工设备企业。其核心产品——基于微观加工的半导体设备，是数码时代的关键基础设施。自2004年成立以来，中微公司专注于为全球集成电路和泛半导体制造商提供顶尖设备与优质服务。公司秉持“三维发展”战略，2022年营收达47.4亿元人民币，累计申请超2250项专利，并在国内外106条生产线上实现超过3,300个反应台的量产。

**集成电路制造设备维度**：中微公司的等离子体刻蚀设备涵盖电容性高能等离子体（CCP）和电感性低能等离子体（ICP）两大系列，具备单台机与双台机的独特设计，广泛应用于65纳米至5纳米及更先进制程的国际一线客户生产线。CCP刻蚀设备在超高深宽比结构刻蚀方面表现卓越，而ICP刻蚀设备的刻蚀均匀性可达原子级别。基于ICP技术的深硅（TSV）刻蚀设备在先进封装领域持续获得批量订单。此外，公司正积极研发多种薄膜沉积设备，如低压化学气相沉积（LPCVD）和外延设备（EPI），并取得显著进展，其中12英寸LPCVD设备已达到国际领先水平。

**泛半导体设备维度**：中微的金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备成功应用于LED和功率器件外延片生产，并在氮化镓基Mini-LED产业化中占据领先地位。同时，公司正加速开发碳化硅功率器件外延设备及Micro-LED专用MOCVD设备。

**其他战略新兴领域**：中微惠创专注环保节能与清洁能源设备，中微汇链致力于中小企业运营软件系统开发，芯汇康则探索数字技术在大健康领域的应用，各业务板块均取得积极成果，助力公司稳健发展。

中微公司总部及生产基地设于上海浦东，南昌产业化基地已于2023年启用，临港片区的新建产业化基地和总部研发大楼也正有序推进。在全球化布局下，公司通过中国大陆及境外分支机构（台湾、新加坡、韩国、日本、北美），汇聚超过1500名国际化人才，构建开放包容的创新平台。