上海交通大学先进电子材料与器件平台

AEMD平台简介

先进电子材料与器件校级平台（AEMD）成立于2012年，自2014年11月6日起正式运营，是为全校科研工作提供服务的大型仪器设备校级共享平台，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。在各级领导的支持下，AEMD平台成为相关学科发展的关键支撑，同时为科研工作提供全面保障。

AEMD平台位于上海交通大学闵行校区微电子大楼一层（西区）及综合实验楼一层（东区）（2014年8月合并），总面积近1510平方米，其中包括100级和1000级净化室，分别为210平方米和1300平方米左右。此外，平台还拥有约250平方米的非净化测试加工区域。

平台建有两条微纳米加工实验线：一条是针对硅、玻璃和有机材料的3～6英寸半导体级实验线（西区实验室），另一条是3～4英寸非硅/MEMS微纳加工实验线（东区实验室），部分设备可支持8英寸基片加工。平台配备了包括电子束曝光系统、双束聚焦离子束系统、双面对准紫外光刻机（3台）、热压/紫外纳米压印系统、涂胶显影系统（3套）、微波去胶机（3台）、氧化扩散炉（5管，2套）、多晶硅/氮化硅LPCVD炉（2管）、快速热处理设备、湿法清洗刻蚀台（12台套）、多靶磁控溅射系统（4台套）、超高真空磁控溅射系统、电子束蒸发设备（2套）、离子束溅射机、离子束刻蚀机、等离子增强化学气相沉积设备、金属反应离子刻蚀设备、介质反应离子刻蚀设备、深硅刻蚀系统（2套）、微电铸/电镀系统、OLED器件实验制备系统、基片抛磨设备、砂轮切片系统、场发射扫描电镜、原子力显微镜、半导体参数测试仪（2套）、霍尔效应仪、四探针测试仪、表面轮廓仪（3台）、紫外膜厚仪在内的多种先进微纳加工与测试设备，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。

AEMD平台的建立不仅提升了我校大型仪器的使用效率，还促进了跨学科交叉研究、国内外合作，并为高层次人才培养提供了优质的实验环境。平台亦向社会各界科研机构和企业提供合作与微纳加工服务。