中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“公司”）创建于1958年，前身为中国科学院下属的科研事业单位，2001年整体转制，2014年在新三板挂牌。总部位于辽宁省沈阳市，在北京、上海、广州、深圳、南通、武汉设有子公司和分支机构。

公司专注于超高真空和洁净真空技术，主要从事真空科研仪器设备和干式真空泵的研发、生产、销售及技术服务。公司以“引领真空技术，支撑科技创新，促进产业发展”为使命，旨在打破国际垄断，解决“卡脖子”难题，服务国家前沿科学研究和集成电路等战略产业。

公司先后组建“真空技术装备国家工程研究中心”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”、“国家分子束外延技术开发实验基地”等国家级研发平台。公司研发成果多次获得国家科技进步奖，中国科学院及省部级科技进步奖，多次打破发达国家的技术封锁和垄断，拥有发明专利和软著权百余项。公司先后承担“02专项”、“04专项”、“863计划”、“国家重点研发计划”等国家级重大科研专项（课题），牵头和参与起草多项真空技术相关的国家及行业标准。公司被认定为国家高新技术企业、国家级企业技术中心、国家级专精特新“小巨人”企业等，是国内真空行业和集成电路装备关键核心部件领域的领军企业。

公司主要产品包括面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空仪器设备及相关技术服务，以及面向半导体及泛半导体领域用于晶圆制造的干式真空泵。产品遍及国内30个省、市、自治区，并出口到美国、俄罗斯、加拿大、澳大利亚、日本、韩国、新加坡、越南等国家和地区。

1979年公司成功研制了国内第一台分子束外延设备（MBE），填补了国内空白，解决了该领域的“卡脖子”难题，目前生产型MBE设备已研制成功，并具备量产能力。公司参与北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥同步辐射装置、上海同步辐射光源、上海软X射线、上海硬X射线、高能同步辐射光源、纳米真空互联实验站等十余个国家重大科技基础设施的建设工作。公司形成了具有自主知识产权的系列干式真空泵产品，是半导体领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是在集成电路先进制程实现批量交付的国产干式真空泵制造企业，覆盖了14nm及以上先进逻辑芯片以及192层及以下3D NAND等先进存储器工艺。目前已在中国各领先晶圆厂、国内主流半导体设备厂实现大批量应用，打破了欧美及日本企业对同类产品的长期垄断，保证了国家战略产业的供应链安全。