广东中科半导体微纳制造技术研究院

广东中科半导体微纳制造技术研究院是由佛山市人民政府与佛山市南海区人民政府共同建立的广东省属科研事业单位，一期投入运营资金达12亿元，占地面积100亩，一期建设35000平方米的科研及办公场地，其中包括23000平方米的洁净实验室。二期规划还将建设12万平方米的专业化半导体产业载体。该研究院立足佛山，面向广东，辐射整个粤港澳大湾区，致力于打造高水平的技术研发和公共服务平台，目标成为产业技术源头创新基地和高技术成果转移转化基地，构建“研发平台+公共服务平台+产业孵化载体+产业加速载体+专业基金+品牌活动”的半导体产业发展生态圈。

作为中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（简称中科院苏州纳米所）在粤港澳大湾区的重要布局，研究院将充分利用中科院苏州纳米所的学科优势，推动一批具有产业化潜力的科研成果实现转化，进一步开展工程化和系统化开发。研究院主要关注光电子器件、功率器件、MEMS器件、Micro-LED等多种半导体器件，为各类企业提供从GaN外延材料生长到芯片加工、器件测试、封装等全流程的研发、中试及封装测试服务，具备处理8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆的能力，同时兼容2英寸、4英寸、6英寸晶圆的加工。