合肥铠柏科技有限公司

合肥铠柏科技成立于2021年，专注于超高真空镀膜装备及全自动智能系统的研发和生产。公司以自主研发为核心，整合PLD、电子束蒸发、磁控溅射、离子束沉积、真空互联等全工艺链技术，为用户提供全自动智能化镀膜平台。依托具有知识产权的核心零部件、多功能样品架、超高真空机械手臂，可运送12英寸晶圆芯片。依托具有专利的大尺寸双倾角样品架，可实现镀膜均匀性±1%，赋能量子计算、半导体芯片等尖端领域。产品采用模块化可扩展设计，支持技术持续迭代，已服务国内外众多知名高校、科研机构及工业客户，得到了广泛应用和认可。2024年认定为国家高新技术企业、安徽省创新型中小企业，并获得安徽省首台（套）重大技术装备荣誉称号。