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浙江六方半导体科技有限公司成立于2018年,坐落于浙江省诸暨市。这是一家专注于半导体行业新材料研发的高科技企业,其愿景是“材料改变未来”。公司掌握碳化硅涂层、碳化钽涂层及整体碳化硅(CVD-Solid SiC)等先进技术。主要产品涵盖碳化硅涂层石墨外延托盘,包括第三代半导体SiC外延托盘、LED芯片外延用SiC涂层石墨外延托盘以及硅单晶外延用碳化硅涂层石墨外延托盘。

2022年,公司加入甬江实验室,并成立热场材料创新中心,借助甬江实验室的整体资源,以市场需求为指引,进行热场材料的基础研究和应用技术研究。该中心近期重点研究CVD碳化硅涂层技术在半导体行业的应用,探索CVD碳化硅涂层的基本科学问题,并对碳化硅涂层托盘进行面向实际应用的技术开发。

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