山东力冠微电子装备有限公司

山东力冠微电子装备有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的装备制造企业，为中国电子专用设备工业协会成员、第三代半导体产业技术创新战略联盟副理事长单位。公司汇聚行业人才，专注于非标产品定制服务，主要服务于国内知名研究院所、高校实验室及半导体材料生产企业。

**发展历程**
山东力冠成立于2013年，同年6月加入中国电子专用设备工业协会；2018年11月获山东省科技厅认定为“高新技术企业”；2019年3月被第三代半导体产业技术创新战略联盟任命为副理事长单位；2019年9月在国际第三代半导体专业赛中获奖。目前，公司年产值超1000万元，主营产品包括晶体提拉炉、氧化/扩散炉、低压化学气相沉积设备、RTP快速退火炉、真空退火炉、真空合金炉、砷化镓晶体生长炉、区熔炉、液相外延炉、蓝宝石退火炉、锑化镓晶体单晶炉、真空炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备（PECVD）、干法刻蚀设备、MOCVD、非标真空设备等，广泛应用于半导体工艺设备、晶体生长设备及新材料领域。

**创新特点**
公司技术实力强大，已获授权专利30余项，其中包括4项发明专利、17项实用新型专利及14项软件著作权。公司重视人才引进，硕士及以上学历的研发人员占比超25%。未来，公司将持续加大研发投入，瞄准高端装备前沿需求，努力成为具有活力与潜力的高端装备供应商，助力国内半导体工艺装备发展，提升电子技术大国竞争力。