佛仪科技(佛山)有限公司

佛仪科技（佛山）有限公司成立于2019年2月，是季华实验室科研成果转化和产业化的载体之一，主要从事半导体装备及关键零部件的研发、制造和销售。公司创始团队成员来自新加坡和美国，曾在国际知名半导体制造商担任高级研发负责人，拥有近30年的半导体装备及关键零部件研制及企业管理经验。目前，公司已聚集了一批以广东特支计划科技创新领军人才为核心的、团结高效的研发人才，致力于打造半导体设备关键零部件行业领航企业。公司CVD、PVD、曝光机等装备产品，以及400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz大功率射频电源及2.45GHz微波电源等装备零部件产品已实现批量销售，获得资本市场青睐，完成A轮融资。

技术优势
公司自主研发的半导体设备关键零部件，包括集成电路装备专用大功率射频电源/微波电源、远程等离子源、薄膜真空计、蝶阀等，在国内处于领先开发梯队，瞄准半导体先进制程，实现了核心技术突破，填补了国内空白。公司掌握的射频电源技术是新一代电源的创新设计，能显著改善电源性能，提升相关装备的工艺水平，在国内处于领先水平，并比肩国际先进水平。

发展概况
2019年2月，佛仪科技注册成立。
2019年9月，佛仪科技首次参与广东省重点领域研发计划项目《SiC新型器件的关键技术研究及应用》。
2020年4月，佛仪科技首套氧化炉真空系统出货。
2020年10月，佛仪科技参与广东省重点领域研发计划项目《半导体设备用低温泵研发》。
2021年7月，佛仪科技首套高能电子衍射原位监控气相沉积系统出货。
2021年9月，佛仪科技自主研发的大功率微波电源开始小批量出货。
2022年10月，佛仪科技自主研发的400kHz、2MHz、60MHz射频电源完成测试与机台验证。
2023年1月，佛仪科技自主研发的薄膜真空压力计产品通过验证，正式上市推广。
2023年12月，佛仪科技营收突破2800万元，进入规上企业行列。
2024年3月，佛仪科技27.12MHz射频电源和远程等离子体源样机开发完成，开始机台及产线验证。
2024年6月，佛仪科技完成天使轮融资。
2024年12月，佛仪科技完成A轮融资。
2025年3月，佛仪科技产业化一期场地装修完成，入驻季华实验室孵化器。

荣誉资质
微波电源荣获第二十二届中国国际高新技术成果交易会“优秀产品”；
大功率低频电源、射频电源、高频脉冲射频电源荣获2021年中国国际光电博览会“金奖”；
高性能电容薄膜真空计系统研发与产业化项目在第一届粤港澳大湾区博士博士后创新创业大赛中荣获创新赛“银奖”；
2024年粤港澳大湾区高价值专利培育布局大赛优秀奖；
2024第二届佛山高价值专利成果转移转化大赛银奖。