瑶光半导体（浙江）有限公司

ETA-Semitech（瑶光半导体）是一家专注于宽禁带半导体制程设备研发、生产和销售的综合性科技公司，其控股公司一塔半导体（安徽）有限公司位于合肥市。产研基地分别设在合肥市经济技术开发区和湖州市莫干山高新技术产业开发区。创始人及核心团队拥有多年的合作经验和丰富的自动化设备创业及上市公司管理经验。

ETA-Semitech致力于半导体制程设备的研发，已成功开发了外延生长系统（MOCVD）和退火系统（激光退火/RTP）。公司拥有多项技术方案，包括自主开发的SiC/GaN外延生长方案、快速热处理（RTA）、热氧化（RTO）、热氮化（RTN）、离子注入退火、金属合金以及功率芯片背面激光退火等解决方案。公司持有69项技术和软件著作权，其中包括闭环温度控制系统和惰性气体屏障技术。