中微半导体设备(上海)股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司）是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司。公司专注于以微观加工为核心的半导体设备，这是数码时代的战略性基础。自2004年成立以来，中微公司致力于为全球集成电路和泛半导体制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务，已成为所在领域的中国领军企业和世界新星。

中微公司坚持“三维发展”战略，2022年营业收入达到47.4亿元人民币，拥有超过2250件专利，并在106条生产线上的量产中积累了超过3,300个反应台。

在集成电路制造设备维度，中微公司的等离子体刻蚀设备包括电容性高能等离子体（CCP）刻蚀设备和电感性低能等离子体（ICP）刻蚀设备，拥有单台机和双台机的独特设计，已广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及下一代更先进的芯片生产线上。CCP刻蚀设备性能已达国际一流水平；ICP刻蚀设备的刻蚀均匀性可达原子级水平；应用ICP技术的深硅（TSV）刻蚀设备在先进系统封装、2.5D封装和微机电系统芯片等刻蚀领域获得批量重复订单。此外，公司在开发集成电路前端所需的多种薄膜沉积类设备，包括低压化学气相沉积设备（LPCVD）和外延设备（EPI），并取得显著进展。2022年开始推出的12英寸LPCVD设备具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，达到国际先进水平。

在泛半导体设备维度，中微公司的MOCVD设备用于LED和功率器件外延片的生产，其氮化镓基MOCVD设备在新一代Mini-LED产业化中领先于蓝绿光LED生产线。公司正在开发用于碳化硅功率器件的外延设备及制造Micro-LED的MOCVD专用设备。

在其他战略新兴领域，中微公司聚焦环境保护节能减排设备和清洁能源的“中微惠创”、开发中小企业运营软件系统的“中微汇链”、探索数码技术在大健康领域应用的“芯汇康”均取得良好进展，推动公司实现高速、稳定、健康和安全的发展。

2019年，中微公司作为首批科创板企业在上海证券交易所挂牌上市，并成为科创板首家市值超千亿元的半导体设备公司。多年来，公司及其产品获得近百项知名奖项，包括：
- 第十五届、第二十二届两次中国专利金奖（2013/2021，国家知识产权局）
- 国家企业技术中心（2020，国家发改委、科技部、财政部等）
- “制造业单项冠军产品”称号（2019，工信部、中国工业经济联合会）
- 第四届中国质量奖提名奖（2021，国家市场监管总局）
- 中国国际工业博览会第十六届金奖、第十五届银奖（2014/2013，中国国际工业博览会组委会）
- 两次“福布斯中国最具创新力企业50强”（2020/2022，福布斯中国）
- “2009年度最佳产品奖”（2009，美国《半导体国际》杂志）

中微公司还在美国TechInsights 2018、2019、2021和2023年的全球客户满意度评比中连续排名前列，展示了公司全球领先的竞争力和市场认可度。

中微公司全球总部及产业基地位于上海浦东，南昌产业化基地已于2023年投入运行，上海临港片区在建的产业化基地、总部暨研发大楼也将陆续投入使用。公司以开放包容的国际化平台，在中国大陆及境外分公司（中国台湾地区、新加坡、韩国、日本、北美）拥有超过1,500名国际化人才。

在中微，您将与攀登半导体设备技术巅峰的勇者们同行，享受宽广的职业发展平台、完善的薪酬福利和全员持股等全面和长久的回报。加入我们，共同改变数码时代人类的生产和生活方式！