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小草半导体是一家专注于高端半导体晶圆制造设备的高科技企业,致力于大尺寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备的研发。公司已成功完成磁控溅射设备的开发,攻克了8/12英寸晶圆压电薄膜磁控溅射设备制造的多项关键技术,并申请了多项相关专利。

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