上海励兆科技有限公司

上海励兆科技有限公司是行业内领先的（泛）半导体设备等离子体源及其配套系统的制造商。

公司研发中心坐落于上海市闵行区，占地面积超过1000平方米，而生产制造基地则设于上海市临港新片区，面积约为5000平方米。公司专注于等离子体工艺设备核心部件的研发、生产和销售，主要产品涵盖射频电源、自动阻抗匹配器、远程等离子体源，以及包括高压模块、直流偏压探测器、滤波器在内的定制化模块，并提供系统的技术解决方案。

公司专精于射频功率系统的应用，下游客户主要是半导体及泛半导体设备制造商和晶圆厂。产品应用领域广泛，包括半导体与集成电路、光伏、医疗、工业以及科研等，不仅为半导体设备和光伏设备提供射频系统产品和技术解决方案，还凭借研发、制造与供应链优势，积极拓展其他战略重点行业的应用。

公司核心研发团队由国内拥有十余年射频电源系统设计经验的专家组成，成员均曾在中微公司、飞利浦医疗、万机仪器（MKS）、优仪半导体（AE）等跨国企业工作过。公司首席科学家为上海交通大学电气工程系副教授，同时也是IEEE储能无线电能分委会主席，在电力电子领域有深厚造诣。

励兆科技拥有卓越的研发团队、完善的软件设计、仿真工具和测试平台，掌握全国领先的高频电力电子技术、大功率射频技术和高速数字控制技术，以及等离子体控制技术。其产品具备高速控制、高精度、高效率输出、高可靠性和稳定性，满足14nm及更先进工艺技术节点的要求。

在集成电路芯片制造设备中，如刻蚀、沉积、清洗等离子设备的核心部件——射频发生器、匹配器和远程等离子体源，目前完全依赖进口，技术受制于人，亟需实现国产化替代。公司已与国内顶尖半导体设备公司合作，产品性能已达国际先进水平，在技术和客户服务方面具有独特优势。

励兆科技的企业愿景是通过创新技术的研究、严谨的产品设计，坚持用户至上的原则，确保产品质量，力争成为国际领先的等离子体设备核心部件供应商。